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　　薄膜导热测试仪是一种专门用于测量薄膜材料导热性能的仪器，它能够准确测量薄膜材料的导热系数、热扩散系数等关键参数，这些参数对于评估薄膜材料的热传导性能非常重要。
 

　　薄膜导热测试仪的工作原理因测试方法的不同而有所差异。常见的测试方法包括激光闪射法、热流法和热反射法(频域热反射法或瞬态热线源法)。
 

　　1、激光闪射法
 

　　该方法利用激光二极管发出激光光源，聚焦的光束穿过叁维检腔，当光在行进中遇到微小颗粒时会发生散射。通过测量散射光的光通量，可以间接得到薄膜材料的导热性能。
 

　　2、热流法
 

　　该方法基于温差和热流量之间的对应关系进行传热系数的测定。
 

　　3、热反射法(瞬态热线源法)
 

　　该方法使用一根金属线作为热线源，同时充当加热元件和温度传感器。测试时，通过热线源施加一个短暂的电流脉冲使其产生热量，热量从热线源沿着样品传播导致热线源冷却。冷却速率取决于周围材料的热导率，通过分析热线源的冷却曲线并利用适当的数学模型(如一维径向热流模型)，可以确定未知样品的热导率。
 

　　C-Therm Trident薄膜导热测试仪的Flex TPS瞬态平面热源法传感器，可按照ISO 22007-2标准，用于表征薄膜材料的热传递性质。Flex TPS专门的薄膜模块，可测量厚度为20um ~ 1 mm样品的导热系数和热扩散系数。并且Trident主机，除TPS方法外，还可与MTPS和TLS传感器连用，测试更多不同类型的材料。